高分辨率線性傳感器 
GS-3813B / 3830B

分辨率0.1 Myuemu

• 日本小野高分辨率線性傳感器GS-3813B
• 日本小野高分辨率線性傳感器GS-3813B

左：GS-3830B 
右：GS-3813B

而GS-3813B / 3830B是亞微米線性量規傳感器，具有防塵和優異的軸承和IP66G耐久性的防滴性能，這是由自動機對應于所述在線測量高分辨率線性量規傳感器。

滾珠花鍵軸承的采用和新光學系統的開發使得實現高分辨率和環境性能成為可能。

檢測信號可以用方波輸出（線路驅動器輸出）提取，因此可以直接連接到PLC。

GS-3813B / 3830B線性傳感器與DG-5100數字儀表計數器配合使用

DG-5100數字儀表計數器

DG-5100是一款輸入頻率為3 MHz的高速計數器。
通過采用選件卡，可以以低成本實現比較器功能，模擬輸出功能，RS-232C通信功能等必要功能。

詳情產品介紹 

特點

■與傳統產品相比，可以進行更的測量
（分辨率10倍1μm→0.1μm）

■軸承壽命比傳統產品長3倍
（測量操作500萬次→1500萬次）

■與傳統產品相比，增強了
防塵，防水，防油性能（防護結構IP64→IP66G）

■振動和沖擊性能是傳統產品的兩倍
（抗振性98 m / s ²，耐沖擊性980 m / s ² →抗振性196 m / s ²，耐沖擊性1960 m / s ²）

應用實例

高精度測量光學系統中使用的玻璃部件，如激光

激光設備等的玻璃部件在拋光過程中用接觸式高精度線性規進行尺寸檢查，以確保中間過程的精度，并在終過程中送到光學檢查過程。

硅片厚度測量，精度為1μm

使用高精度線性傳感器，測量硅晶片的厚度，精度為1μm。ST-0230量規支架適用于小于4英寸的小型晶圓。

高精度厚度測量翹曲材料，如硅片

它地測量具有類似硅晶片的翹曲的板狀材料的厚度。為了不受翹曲的影響，請使用一個特殊的支架，其結構接收GS-3813B測量傳感器的測量元件與“凸透鏡”碰撞的部分，并用銷釘支撐其他四個點。
通過將GS-3813B測量傳感器的傳感器中心與凸透鏡的中心對齊，可以在幾乎不受翹曲影響的情況下測量厚度。可以通過RS-232C接口將測量數據加載到PC中來執行諸如統計處理之類的二次數據處理。

大綱規范

※1使用我們的儀表計數器時，括號中的數值是使用DG-5100時的電氣響應速度。 
※2橫向（10°C以下）或以上使用時，主軸可能無法*返回。 
※3這是改造時能夠向上使用的變更范圍。（數值是向下方向的測量功率） 
* 4測量期間的振動和沖擊阻力不保證所述值。 
* 5如果在中間斷開或修改信號電纜，CE標記不符合要求。