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18511227625更新時間：2025-09-19
canon-anelva M-311HG真空計イオンゲージ（熱陰極電離真空計）M-311HG（真空計）イオンゲージ M-311HG
| 品牌 | 其他品牌 | 貨號 | M-311HG |
|---|---|---|---|
| 規格 | 1 | 供貨周期 | 一個月以上 |
| 主要用途 | 真空計 | 應用領域 | 環保,電子/電池,電氣 |
| 壓力測量范圍 | 1×10-7～10Pa |
canon-anelva M-311HG真空計
canon-anelva M-311HG真空計
換能器真空計系列的離子計。離子規（熱陰極電離真空規）具有良好的重現性和線性，可測量寬范圍的壓力，是作為真空規的優良特性。傳感器使用經過驗證的微型儀表（MG-2I 型）
特征 壓力測量范圍廣 從 10-7Pa 到 10Pa，可以在不犧牲超高真空側特性的情況下測量超出濺射工藝的低真空區域。 高響應模擬輸出 壓力值的模擬信號輸出確保100毫秒內的高響應性，也可用于過程壓力控制。 4種發射電流設置模式 可根據用途進行選擇，例如在高壓區側使用時可提高燈絲壽命
用 生產真空設備壓力測量 半導體濺射設備壓力測量 各種真空裝置 選項 可提供系列兼容指示器。 大型數字液晶顯示屏，一目了然，大大提高了操作性 根據應用選擇1ch類型或3ch類型
| 型 名 | イオンゲージ | |
|---|---|---|
| M-311HG‐SP | M-311HG‐RS | |
| 圧力測定範囲 | 1×10-7～10Pa | |
| 入力電圧 | DC20～28V | |
| 消費電力 | 12W | |
| アナログ出力 | 0～10V | － |
| セットポイント | 2點リレー出力 | |
| インターフェース | － | RS485 |
| 入出力コネクタ | Dsub-9（Male） | |
| 最大ケーブル長 | 200m（1mm2） | |
| 使用溫度範囲 | 5～50℃ | |
| 保存溫度範囲 | -20～70℃ | |
| センサ－型名 | ミニチュアB-Aゲージ（MG-2Iシリーズ） | |
| センサー材質（主要部） | フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304 | |
| 外形寸法（mm） | 110×70×50 | |
| フランジ形狀 | NW16, NW25, ICF34, ICF70 | |
| 対応 | CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40 | |
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