日本canon-anelva真空計M-351PG

更新時間：2025-09-19

簡要描述：

日本canon-anelva真空計M-351PG
ピラニゲージ（耐蝕型） M-351PG（真空計）
ピラニゲージ（耐蝕型） M-351PG

型號：廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商瀏覽量：1266

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品牌	其他品牌	貨號	M-351PG
規(guī)格	1	供貨周期	一個月以上
主要用途	真空計	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,電子/電池,電氣
精度（Pa）	±50％：5×10-2　～　1×10-1

日本canon-anelva真空計M-351PG

ピラニゲージ（耐蝕型） M-351PG（真空計）

ピラニゲージ（耐蝕型） M-351PG

該機(jī)型采用鎳絲提高耐腐蝕性能，兼容RIE、CVD等硬工藝設(shè)備

特征提高耐腐蝕性采用鎳絲等重現(xiàn)性好，價格低廉大氣壓從 5 × 10-2 Pa 用半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備干蝕刻設(shè)備、等離子CVD設(shè)備、LD-CVD設(shè)備等。食品/醫(yī)藥制造設(shè)備真空冷凍干燥、真空蒸餾設(shè)備、殺菌設(shè)備等

仕様

型　名	M-351PG-SP （Ｎｉフィラメント仕様）（セットポイント付タイプ）
測定圧力範(fàn)囲	5×10^-2～1×10⁵（Pa）
精度（Pa）	±50％：5×10^-2　～　1×10^-1 ±15％：1×10^-1　～　1×10⁴ ±50％：1×10⁴　～　1×10⁵
再現(xiàn)性	±2％　：　1×10^-1　～　1×10⁴Pa
入力電圧	DC+14～30V
消費(fèi)電力	2W
アナログ出力	0～10V
ゲージ認(rèn)識抵抗値	13KΩ（D-sub5-9番ピン間）
セットポイント	2接點(diǎn)出力（1A30V,DC）
インターフェース	－
入出力コネクタ	D‐sub9ピン
最大ケーブル長	200ｍ（0.34mm²）対応可能^＊1
使用溫度範(fàn)囲	5～60℃
保存溫度範(fàn)囲	-20～70℃（非動作時）
ベーキング溫度	＜＋150℃（Oリング仕様、ゲージヘッドのみ）＜＋300℃（メタルシール仕様、ゲージヘッドのみ）
許容過負(fù)荷圧力	1MPa（継手形狀NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧）
適合ピラニセンサ型名	MP-2
フランジ形狀	NW16、NW25、1/8NPT
センサー材質(zhì)（主要部）	ピラニフィラメント：ニッケルセンサーチューブ：ステンレス導(dǎo)入端子絶縁部：コバールガラス＋Al2O3コート
対応	CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40

＊1）M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。

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